નળાકાર અને પ્લાનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોના ફાયદા

RSM ના ટેકનિકલ કન્સલ્ટન્ટ તમારી સાથે સિલિન્ડ્રિકલ અને પ્લાનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોના ફાયદાઓ શેર કરશે?અન્ય મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યોની તુલનામાં, નળાકાર અને પ્લાનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યો લંબચોરસ પ્લેનર લક્ષ્યોની સારી કોટિંગ સમાનતાના ફાયદા જાળવી રાખે છે અને નીચેની બે રીતો દ્વારા લક્ષ્યોનો મહત્તમ ઉપયોગ કરી શકે છે:

(1) જ્યારે લક્ષ્યની સપાટી પરના બે જૂથો (ચાર) વલયાકાર ખાડાઓ ચોક્કસ ઊંડાઈ સુધી પહોંચે છે, ત્યારે લક્ષ્ય કોર (ચુંબક ભાગ) લક્ષ્ય નળીની તુલનામાં 45 ° ફેરવી શકાય છે, જેથી લક્ષ્ય નળી પરના અન્ય વિસ્તારો જે કાટખૂણે ન હોય તેનો ઉપયોગ કરી શકાય છે;

(2) જ્યારે નળાકાર અને પ્લાનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યના લક્ષ્ય કોરને ફરતા લક્ષ્ય કોર (ટાર્ગેટ કોર સ્પુટરિંગ દરમિયાન ફરે છે) તરીકે ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે, ત્યારે લક્ષ્યની સપાટી ખાડાઓ વિના સ્તર દ્વારા સમાનરૂપે સ્પુટર થઈ શકે છે.આ સમયે, લક્ષ્યનો સૌથી વધુ અસરકારક રીતે ઉપયોગ કરવામાં આવશે, અને લક્ષ્યનો ઉપયોગ દર 50% ~ 60% સુધી પહોંચી શકે છે જ્યારે લક્ષ્ય સામગ્રી કિંમતી ધાતુ છે, તે સ્પષ્ટપણે ખૂબ મહત્વ ધરાવે છે.

અંતિમ ચુંબકીય ક્ષેત્રની સમસ્યાને ઉકેલવા માટે કોક્સિયલ સિલિન્ડ્રિકલ મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યમાં પોલ શૂ સાથેના ચુંબકના સિદ્ધાંતનો ઉપયોગ કરીને, લંબચોરસ પ્લેન લક્ષ્યને નળાકાર અને પ્લેનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ લક્ષ્યમાં રૂપાંતરિત કરી શકાય છે, લક્ષ્ય લક્ષ્યના ઉપયોગ દરને મહત્તમ કરી શકે છે. જ્યારે લંબચોરસ પ્લેન લક્ષ્યની સારી કોટિંગ એકરૂપતા જાળવી રાખો જેથી આર્થિક લાભમાં સુધારો થાય.