ઈલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગ, સૌર કોષો, ગ્લાસ કોટિંગ અને અન્ય ક્ષેત્રોમાં તેમના સહજ ફાયદાઓને કારણે સ્પુટર્ડ મોલિબ્ડેનમ લક્ષ્યોનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.મિનિએચરાઇઝેશન, ઇન્ટિગ્રેશન, ડિજિટાઇઝેશન અને ઇન્ટેલિજન્સમાં આધુનિક ટેક્નોલોજીના ઝડપી વિકાસ સાથે, મોલિબડેનમ લક્ષ્યોનો ઉપયોગ સતત વધતો રહેશે, અને તેના માટે ગુણવત્તાની જરૂરિયાતો પણ વધુને વધુ ઊંચી બનતી જશે.તેથી આપણે મોલીબડેનમ લક્ષ્યોના ઉપયોગ દરમાં સુધારો કરવાના માર્ગો શોધવાની જરૂર છે.હવે, RSM ના સંપાદક દરેક માટે સ્પુટરિંગ મોલીબડેનમ લક્ષ્યોના ઉપયોગ દરને સુધારવા માટે ઘણી પદ્ધતિઓ રજૂ કરશે.
1. વિપરીત બાજુ પર ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ ઉમેરો
સ્પુટર્ડ મોલીબ્ડેનમ લક્ષ્યના ઉપયોગ દરને સુધારવા માટે, પ્લેનર મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ મોલીબ્ડેનમ લક્ષ્યની પાછળની બાજુએ ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ ઉમેરી શકાય છે, અને મોલિબ્ડેનમ લક્ષ્યની સપાટી પરના ચુંબકીય ક્ષેત્રને વર્તમાનમાં વધારો કરીને વધારી શકાય છે. ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક કોઇલ, જેથી મોલીબડેનમ લક્ષ્યના ઉપયોગ દરમાં સુધારો કરી શકાય.
2. ટ્યુબ્યુલર ફરતી લક્ષ્ય સામગ્રી પસંદ કરો
સપાટ લક્ષ્યોની તુલનામાં, નળીઓવાળું ફરતું લક્ષ્ય માળખું પસંદ કરવાથી તેના નોંધપાત્ર ફાયદાઓ પ્રકાશિત થાય છે.સામાન્ય રીતે, સપાટ લક્ષ્યોનો ઉપયોગ દર માત્ર 30% થી 50% છે, જ્યારે ટ્યુબ્યુલર ફરતા લક્ષ્યોનો ઉપયોગ દર 80% થી વધુ સુધી પહોંચી શકે છે.તદુપરાંત, ફરતી હોલો ટ્યુબ મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટનો ઉપયોગ કરતી વખતે, કારણ કે લક્ષ્ય નિશ્ચિત બાર મેગ્નેટ એસેમ્બલીની આસપાસ હંમેશા ફેરવી શકે છે, તેની સપાટી પર કોઈ પુનઃસ્થાપન રહેશે નહીં, તેથી ફરતા લક્ષ્યનું જીવન સામાન્ય રીતે 5 ગણા કરતાં વધુ લાંબુ હોય છે. વિમાન લક્ષ્ય કરતાં.
3. નવા સ્પુટરિંગ સાધનો સાથે બદલો
લક્ષ્ય સામગ્રીના ઉપયોગના દરમાં સુધારો કરવાની ચાવી એ છે કે સ્પુટરિંગ સાધનોની બદલીને પૂર્ણ કરવી.મોલિબડેનમ સ્પુટરિંગ લક્ષ્ય સામગ્રીની સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન, લગભગ છઠ્ઠા ભાગના સ્પુટરિંગ અણુઓ હાઇડ્રોજન આયનો દ્વારા અથડાયા પછી વેક્યૂમ ચેમ્બરની દિવાલ અથવા કૌંસ પર જમા થશે, શૂન્યાવકાશ સાધનોની સફાઈ અને ડાઉનટાઇમની કિંમતમાં વધારો કરશે.તેથી નવા સ્પટરિંગ સાધનોને બદલવાથી પણ સ્પુટરિંગ મોલીબ્ડેનમ લક્ષ્યોના ઉપયોગ દરમાં સુધારો કરવામાં મદદ મળી શકે છે.
પોસ્ટ સમય: મે-24-2023