સ્પુટરિંગ લક્ષ્યનું જાળવણી જ્ઞાન

ઘણા મિત્રો ટાર્ગેટની જાળવણી વિશે વધુ કે ઓછા પ્રશ્નો છે, તાજેતરમાં ઘણા ગ્રાહકો લક્ષ્યને લગતી સમસ્યાઓની જાળવણી વિશે સલાહ લઈ રહ્યા છે, ચાલો RSM ના સંપાદકને ટાર્ગેટ મેન્ટેનન્સ જ્ઞાન વિશે શેર કરવા દો.

　　સ્પુટર લક્ષ્યો કેવી રીતે જાળવવા જોઈએ?

　　1, લક્ષ્ય જાળવણી

સ્પુટરિંગ પ્રક્રિયામાં અસ્વચ્છ પોલાણને કારણે થતા શોર્ટ સર્કિટ અને આર્સિંગને ટાળવા માટે, સમયાંતરે સ્પુટરિંગ ટ્રેકની મધ્યમાં અને બંને બાજુએ એકઠા થયેલા સ્પુટર્સને દૂર કરવા જરૂરી છે, જે વપરાશકર્તાઓને ઉચ્ચ શક્તિની ઘનતા પર સતત સ્પુટર કરવામાં પણ મદદ કરે છે.

　　2, લક્ષ્ય સંગ્રહ

અમે ભલામણ કરીએ છીએ કે વપરાશકર્તાઓ લક્ષ્ય (ધાતુ હોય કે સિરામિક હોય)ને વેક્યૂમ પેકેજિંગમાં સંગ્રહિત કરે, ખાસ કરીને ફિટિંગ સ્તરના ઓક્સિડેશનને ફિટિંગ ગુણવત્તાને અસર કરતા અટકાવવા માટે ફિટિંગ લક્ષ્યને વેક્યૂમમાં સંગ્રહિત કરવું આવશ્યક છે.મેટલ લક્ષ્યોના પેકેજિંગ માટે, અમે સૂચવીએ છીએ કે તેઓ ઓછામાં ઓછા સ્વચ્છ પ્લાસ્ટિક બેગમાં પેક કરવા જોઈએ.

　　3, લક્ષ્ય સફાઈ

પ્રથમ પગલું એસીટોનમાં પલાળેલા લિન્ટ ફ્રી સોફ્ટ કપડાથી સાફ કરવાનું છે;

બીજું પગલું પ્રથમ પગલા જેવું જ છે, દારૂ સાથે સફાઈ;

પગલું 3: ડીયોનાઇઝ્ડ પાણીથી સાફ કરો.ડીયોનાઇઝ્ડ પાણીથી સફાઈ કર્યા પછી, લક્ષ્યને પકાવવાની નાની ભઠ્ઠીમાં મૂકવામાં આવે છે અને 30 મિનિટ માટે 100 ℃ પર સૂકવવામાં આવે છે.ઓક્સાઇડ અને સિરામિક લક્ષ્યોને સાફ કરવા માટે "લિંટ ફ્રી ક્લોથ" નો ઉપયોગ કરવાનું સૂચન કરવામાં આવે છે.

ચોથું પગલું એ છે કે ઉચ્ચ દબાણ અને નીચી ભેજવાળા આર્ગોન વડે લક્ષ્યને ધોવાનું છે જેથી સ્પુટરિંગ સિસ્ટમમાં ચાપનું કારણ બની શકે તેવા કોઈપણ અશુદ્ધ કણોને દૂર કરવામાં આવે.

　　4, શોર્ટ સર્કિટ અને ચુસ્તતા તપાસો

લક્ષ્ય સ્થાપિત થયા પછી, સમગ્ર કેથોડને શોર્ટ સર્કિટ અને ચુસ્તતા માટે તપાસવાની જરૂર છે.રેઝિસ્ટન્સ મીટર અને મેગરનો ઉપયોગ કરીને કેથોડમાં શોર્ટ સર્કિટ છે કે કેમ તે નક્કી કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે.કેથોડમાં કોઈ શોર્ટ સર્કિટ નથી તેની ખાતરી કર્યા પછી, પાણીના લિકેજનું નિરીક્ષણ કરી શકાય છે, અને પાણી લિકેજ છે કે કેમ તે નક્કી કરવા માટે કેથોડમાં પાણી દાખલ કરી શકાય છે.

　　5, પેકેજિંગ અને પરિવહન

બધા લક્ષ્યો ભેજ-પ્રૂફ એજન્ટ સાથે વેક્યૂમ સીલબંધ પ્લાસ્ટિક બેગમાં પેક કરવામાં આવે છે.પરિવહન અને સંગ્રહ દરમિયાન લક્ષ્ય અને બેકપ્લેનને નુકસાનથી બચાવવા માટે બાહ્ય પેકેજ સામાન્ય રીતે લાકડાનું બૉક્સ હોય છે જેમાં અથડામણ વિરોધી સ્તર હોય છે.