ઉપયોગ દરમિયાન લક્ષ્ય સામગ્રીને સ્પુટર કરવા માટેની આવશ્યકતાઓ

સ્ફટર્ડ ટાર્ગેટ મટિરિયલ્સ ઉપયોગ દરમિયાન ઉચ્ચ જરૂરિયાતો ધરાવે છે, માત્ર શુદ્ધતા અને કણોના કદ માટે જ નહીં, પરંતુ સમાન કણોના કદ માટે પણ.આ ઉચ્ચ આવશ્યકતાઓ અમને સ્પટરિંગ લક્ષ્ય સામગ્રીનો ઉપયોગ કરતી વખતે વધુ ધ્યાન આપવા માટે બનાવે છે.

1. સ્પુટરિંગ તૈયારી

વેક્યુમ ચેમ્બરની સ્વચ્છતા જાળવવી ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે, ખાસ કરીને સ્પુટરિંગ સિસ્ટમ.લુબ્રિકન્ટ્સ, ધૂળ અને અગાઉના કોટિંગ્સના કોઈપણ અવશેષો પાણી જેવા પ્રદૂષકોને એકઠા કરી શકે છે, જે શૂન્યાવકાશને સીધી અસર કરે છે અને ફિલ્મ નિર્માણની નિષ્ફળતાની સંભાવનાને વધારી શકે છે.શોર્ટ સર્કિટ, ટાર્ગેટ આર્સીંગ, ખરબચડી ફિલ્મ બનાવતી સપાટીઓ અને વધુ પડતી રાસાયણિક અશુદ્ધિઓ સામાન્ય રીતે અસ્વચ્છ સ્પટરિંગ ચેમ્બર, બંદૂકો અને લક્ષ્યોને કારણે થાય છે.

કોટિંગની રચનાત્મક લાક્ષણિકતાઓ જાળવવા માટે, સ્પટરિંગ ગેસ (આર્ગોન અથવા ઓક્સિજન) સ્વચ્છ અને શુષ્ક હોવા જોઈએ.સ્પટરિંગ ચેમ્બરમાં સબસ્ટ્રેટને ઇન્સ્ટોલ કર્યા પછી, પ્રક્રિયા માટે જરૂરી શૂન્યાવકાશ સ્તર પ્રાપ્ત કરવા માટે હવા કાઢવાની જરૂર છે.

2. લક્ષ્ય સફાઈ

લક્ષ્ય સફાઈનો હેતુ લક્ષ્યની સપાટી પર અસ્તિત્વમાં હોઈ શકે તેવી કોઈપણ ધૂળ અથવા ગંદકીને દૂર કરવાનો છે.

3. લક્ષ્ય સ્થાપન

લક્ષ્ય સામગ્રીની ઇન્સ્ટોલેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન ધ્યાન આપવાની સૌથી મહત્વની બાબત એ છે કે લક્ષ્ય સામગ્રી અને સ્પટરિંગ બંદૂકની ઠંડકની દિવાલ વચ્ચે સારા થર્મલ જોડાણની ખાતરી કરવી.જો ઠંડકની દિવાલ અથવા પાછળની પ્લેટ ગંભીર રીતે વિકૃત હોય, તો તે લક્ષ્ય સામગ્રીના ઇન્સ્ટોલેશન દરમિયાન ક્રેકીંગ અથવા બેન્ડિંગનું કારણ બની શકે છે.પાછળના લક્ષ્યથી લક્ષ્ય સામગ્રીમાં ગરમીનું સ્થાનાંતરણ ખૂબ પ્રભાવિત થશે, પરિણામે સ્પુટરિંગ દરમિયાન ગરમીનો વિસર્જન કરવામાં અસમર્થતા પરિણમે છે, જે અંતે લક્ષ્ય સામગ્રીના ક્રેકીંગ અથવા વિચલન તરફ દોરી જાય છે.

4. શોર્ટ સર્કિટ અને સીલિંગ નિરીક્ષણ

લક્ષ્ય સામગ્રીની સ્થાપના પછી, સમગ્ર કેથોડની શોર્ટ સર્કિટ અને સીલિંગ તપાસવું જરૂરી છે.કેથોડ શોર્ટ સર્કિટ છે કે કેમ તે નક્કી કરવા માટે ઓહ્મમીટર અને મેગોહમિટરનો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે.કેથોડ શોર્ટ સર્કિટ નથી તેની ખાતરી કર્યા પછી, કોઈ લીકેજ છે કે કેમ તે નિર્ધારિત કરવા માટે કેથોડમાં પાણીનું ઇન્જેક્શન આપીને લીકની તપાસ કરી શકાય છે.

5. સ્પુટરિંગ પહેલાની લક્ષ્ય સામગ્રી

લક્ષ્ય સામગ્રીના પ્રી-સ્પટરિંગ માટે શુદ્ધ આર્ગોન ગેસનો ઉપયોગ કરવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે, જે લક્ષ્ય સામગ્રીની સપાટીને સાફ કરી શકે છે.લક્ષિત સામગ્રી માટે સ્પુટરિંગ પહેલાની પ્રક્રિયા દરમિયાન ધીમે ધીમે સ્પુટરિંગ પાવર વધારવાની ભલામણ કરવામાં આવે છે.સિરામિક લક્ષ્ય સામગ્રીની શક્તિ